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6寸氣浮探針臺T-150G多功能型

用于1~6寸晶圓，批次小器件，單個芯片或MEMS等器件電學性能測試。

應用場景：I/V曲線測試，C/V測試，射頻S參數測試等；

儀器搭配：數字源表、半導體參數分析儀、LCR數字電橋、網絡分析儀等。

特點優(yōu)勢：高穩(wěn)定性，易用性。采用Air Bearing Stage技術增強功能。

用于實驗室芯片驗證，失效分析，產線射頻芯片S參數測試等。

規(guī)格參數：

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