| 高真空/高低溫探針臺(tái)T-CV6 |
| 用于1~4寸晶圓，批次小器件，單個(gè)芯片或MEMS等器件電學(xué)性能測(cè)試； |
| 應(yīng)用場景：I/V曲線測(cè)試，C/V測(cè)試，射頻S參數(shù)測(cè)試等； |
| 樣品臺(tái)尺寸：1英寸、2英寸、4英寸(可選)； |
| 控溫范圍：-190℃/-100℃/-60℃至150℃/200℃/300℃(可選)； |
| 真空度：10-1Torr/10-5Torr/10-6Torr（可選）； |
| 支持制冷機(jī)、液氮制冷，可互換； |
| 儀器搭配：數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。 |
